높은 EUV 투과율 Free-standing CNT film 제작 및 레이저 처리를 통한 성능 향상 연구
Fabrication of Free-Standing CNT Film with High EUV Transmittance and Performance Enhancement via Laser Treatment
- 주제(키워드) Free-standing network CNT film , EUV CNT pellicle , CW Laser machining system
- 주제(DDC) 621.042
- 발행기관 아주대학교 일반대학원
- 지도교수 염동일
- 발행년도 2026
- 학위수여년월 2026. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 에너지시스템학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000036686
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
목차
제 1 장 서론 1
제 2 장 기초이론 4
제 1 절 탄소나노튜브（CNT） 4
2.1.1. Carbon nanotube 5
2.1.2. Carbon nanotube network film 7
2.1.3. EUV CNT pellicle 10
제 3 장 높은 EUV 투과율 CNT film 제작 12
제 1 절 습식 공정기반 CNT film 제작 12
3.1.1. CNT 분산액 12
3.1.2. 진공 여과법（Vacuum filtration） 13
3.1.3. Membrane filter 16
3.1.4. 질산 처리 및 세척 19
3.1.5. Anealing 22
3.1.6. BOE 처리 23
3.1.7. CNT film 전사 24
제 4 장 제작된 CNT film 의 광학적 특성 25
제 1 절 반사율에 의한 CNT film 두께 예측 25
4.1.1. CNT film 두께 예측 25
제 2 절 EUVT -NIRT 상관관계 30
4.2.1. EUV 투과율 측정 한계 30
4.2.2. 1050 nm 파장대역의 투과율 설계 30
4.2.3. NIRT 와 EUVT간의 상관관계 35
제 5 장 레이저 처리를 통한 CNT film 성능 향상 41
제 1 절 레이저 처리 광학계 설계 41
5.1.1. 레이저 처리 광학계 41
5.1.2. 레이저 처리에 따른 CNT film 반응 조건 45
5.1.3. 레이저 처리에 따른 CNT film 성능 향상 51
제 6 장 결론 55
참고문헌 56
영문요약 62
