반도체 장비에서 정밀 자재 배치를 위한 실시간 보상
Real-time Compensation for Precise Material Placement in Semiconductor Equipment
- 주제(키워드) 실시간 보상 , 자재 배치 , 픽앤플레이스 , 비전 시스템 , 폐루프 제어
- 주제(DDC) 621
- 발행기관 아주대학교 IT융합대학원
- 지도교수 이교범
- 발행년도 2026
- 학위수여년월 2026. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 IT융합대학원 IT융합공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000036592
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
본 논문에서는 반도체 장비에서 자재를 배치하는 과정에서 발생하는 위치 오차를 해결하기 위하여 영상 검사를 통한 실시간 보상 기반의 정밀 배치 기법을 다룬다. 자재를 배치하는 시스템의 구성과 동작 원리를 살펴보고, 영상을 기반으로 위치를 측정하는 기술과 모터 제어를 기반으로 위치를 보상하는 기술의 이론적 배경 및 기존 기술의 한계를 분석한다. 자재를 픽업하는 시점에 영상 검사에서 측정된 중심 위치와 목표 위치 간의 오차를 계산하고, 이를 수직 및 수평 방향으로 이동하는 모터의 제어값에 반영하는 보상 시스템을 구성하며, 시스템의 하드웨어 구성과 영상을 처리하는 알고리즘을 기술한다. 여러 자재 조건과 위치 편차 상황에서 오차를 보상하는 기능을 적용하기 전과 후의 배치 성능을 비교 분석하여 정확도의 개선 효과를 정량적으로 평가한다. 실험 결과로 적용한 기법의 타당성을 검증한다.
more초록/요약
This thesis presents a precise material placement method based on real-time compensation using vision inspection to resolve the positional errors that occur in the process of placing material in semiconductor equipment. The configuration and operating principle of the material placement system are examined. The theoretical background of image-based position measurement and motor-control-based position compensation, as well as the limitations of existing techniques, are analyzed. A compensation system is configured. The system calculates the error between the center position measured by vision inspection at the moment of pickup and the target position. The calculated error is reflected in the control values of the motors that move in the vertical and horizontal directions. The hardware configuration of the system and the image processing algorithm are described. The placement performance before and after applying the error compensation function is compared and analyzed under various material conditions and positional deviations. The improvement in accuracy is evaluated quantitatively. The feasibility of the applied method is verified through the experimental results.
more목차
제 1 장 서론 1
제 2 장 자재 배치 시스템의 개요 및 기술 3
2.1 자재 배치 시스템 개요 3
2.2 기존 위치 보정 기술: 하드웨어 기반 접근법 6
2.3 기존 위치 측정 및 보정 기술: 소프트웨어 기반 접근법 8
2.4 기존 기술의 한계 분석 및 개선 방향 11
제 3 장 영상 기반 위치의 오차 보상 시스템 13
3.1 시스템 전체 구성 13
3.2 자재 중심 위치 측정 과정 18
3.3 오차 계산 및 모터 보상 23
3.4 시스템 동작 흐름 25
제 4 장 실험 및 결과 분석 29
4.1 실험 조건 및 방법 29
4.2 실험 결과 및 분석 31
제 5 장 결 론 41
참고문헌 42
Abstract 43
