반도체 FAB 내 저해상도 모델 기반 OHT 이송 시간 예측
OHT Transferring Time Prediction in a Semiconductor FAB Using Low-Resolution Model
- 주제(키워드) 반도체 FAB , OHT 이동 시간 예측
- 주제(DDC) 658.5
- 발행기관 아주대학교 일반대학원
- 지도교수 박상철
- 발행년도 2025
- 학위수여년월 2025. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 산업공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000034936
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
본 연구는 반도체 제조 시스템의 물류 시뮬레이션에서 실제 OHT 없이도 물류 흐름을 정합성 있게 반영할 수 있는 저해상도 모델링 기법을 제안한다. 기존의 고해상도 시뮬레이션은 OHT의 복잡한 제어 과정을 정밀하게 구현함으로써 높은 정확도와 정합성을 확보할 수 있다. 그러나 이러한 구조는 과도한 계산 부하를 유발하며 전체 시뮬레이션의 실행 속도를 저하시킨다는 한계를 가진다. 이러한 문제를 해결하고자, 본 연구에서는 시뮬레이션의 정합성과 속도 간 균형을 확보할 수 있는 OHT 이동 제어 구조를 설계하였다. 두 가지 형태의 OCS와 네 가지 해상도 수준의 이송 시간 예측 모델을 구성하였으며, 이를 통해 다양한 시뮬레이션 목적에 적합한 유연한 해상도 조절이 가능하도록 하였다. 고해상도 OHT 모델은 실제 OHT가 존재하며, 세부적인 예약 로직과 이벤트 기 반 처리, 충돌 회피 등을 포함하는 완전한 OCS 구조를 유지한다. 고해상도 모델 대비 계산 효율을 높이기 위해 제안된 저해상도 모델은 OHT의 이동 과정을 추상화(Abstract OCS)하여 실제 물류가 존재하지 않는 구 조에서 가상 OHT와 이송 명령 리스트를 통해 물류 흐름과 상태 변화를 모사하 도록 설계하였다. 이러한 Abstract OCS 구조를 기반으로 이송 시간 산정 방식 에 따라 세 가지 모델(거리 기반, 테이블 기반, DNN 기반)을 구현하였으며, 기 존의 고해상도 모델과 함께 총 네 가지 모델을 실험적으로 비교하였다. 제안된 모델들은 SMT2020 및 SMAT2022 테스트베드를 통해 검증되 었으며, 실험 결과 물류 없이도 정합성을 유지하는 시뮬레이션이 가능하고, 시뮬 레이션 목적에 따라 정합성과 계산 효율의 균형을 조절할 수 있음을 확인하였다. 주제어: 반도체 FAB, 반도체 FAB 시뮬레이션, 반도체 FAB 물류 시뮬레이션, 다중 해상도 모델링, OHT 이동 시간 예측
more목차
제1장 서론 1
제1절 반도체 FAB 개요 1
제2절 다중 해상도 모델링 7
제3절 문제 정의 10
제2장 반도체 FAB 시뮬레이션 모델링 12
제1절 제조 공정 모델링 12
제2절 물류 시스템 모델링 21
제3장 다중 해상도 모델링 26
제1절 고해상도 OHT 모델 30
제2절 저해상도 OHT 모델 31
1. 거리 기반 예측 모델 33
2. 테이블 기반 예측 모델 34
3. DNN 기반 지연 시간 예측 모델 35
제4장 실험 39
제1절 시뮬레이터 환경 구현 39
제2절 모델 구현 41
1. 거리 기반 예측 모델 41
2. 테이블 기반 예측 모델 41
3. DNN 기반 지연 시간 예측 모델 42
제3절 시뮬레이션 결과 45
제5장 결론 49
Bibliography 51
Abstract 56
