FAB내 물류 자동화 시스템의 유휴 차량 운영 및 차량 디스패칭
Vehicle dispatching & Idle vehicle operation of AMHS in FAB
- 주제(키워드) AMHS , Dispatching , FAB , Idle Vehicle Mangement , OHT , Semiconductor
- 주제(DDC) 658.5
- 발행기관 아주대학교
- 지도교수 박상철
- 발행년도 2023
- 학위수여년월 2023. 2
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 산업공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000032640
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
본 논문에서는 반도체 FAB내의 AMHS(Automated Material Handling System)의 운영 로직을 실험 하고 평가한다. 반도체 FAB내의 AMHS에 큰 비중을 차지하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템은 최신 300mm FAB의 주요 운송 시스템으로 널리 알려져 있다. FAB의 전반적인 성능은 OHT 시스템에 따라 달라질 수 있으므로 OHT 시스템의 성능을 극대화할 수 있는 효과적인 OHT 제어 알고리즘을 갖는 것이 매우 중요하다. 본 논문에서는 두 부분으로 구성된 새로운 OHT 제어 알고리즘을 제안한다. 1) 각 이동 요청에 차량을 할당하는 OHT 디스패칭 알고리즘, 2) 유휴 OHT의 동작을 결정하는 유휴 OHT 관리 정책을 제안한다. 제안한 OHT 제어 알고리즘의 유용성을 증명하기 위해 반도체 제조 테스트베드인 SMT2020(Semiconductor Manufacturing Testbed) 데이터 셋을 이용하여 시뮬레이션 모델을 구축하였다. 시뮬레이션 모델의 경우 최적의 OHT 제어 알고리즘을 찾기 위해 다양한 실험을 수행하였다.
more초록/요약
In this paper, we experiment and evaluate the operation logic of AMHS (Automated Material Handling System) in semiconductor FAB. OHT (Overhead Hoist Transport) system is widely recognized as the main automated material handling system for modern 300mm semiconductor FABs. Since the overall performance of a FAB may depend on the OHT system, it is very important to have effective OHT control algorithms which can maximize the material handling performance of the OHT system. This paper proposes a new OHT control algorithm consisting of two parts; 1) OHT dispatching algorithm which assigns a vehicle to each moving request, and 2) Idle OHT management policy which decides the behavior of idle OHTs. To prove the usefulness of the proposed OHT control algorithm, a simulation model is constructed by using the SMT2020 dataset, a semiconductor manufacturing testbed. For the simulation model, various experimentations have been performed to find the best OHT control algorithm.
more목차
제1장 서론 1
제1절 연구 배경 1
제2절 반도체 제조공정 2
제3절 문제 정의 11
제4절 연구 목적 12
제2장 관련연구 13
제1절 Vehicle Dispatching 연구 13
제2절 Idle Vehicle Management 연구 17
제3장 실험 환경 구축 19
제1절 시뮬레이션 공정 모델 19
제2절 생산 모델 24
제3절 FAB Layout 29
제4절 물류 모델 31
제5절 운영 로직 34
제4장 실험 39
제5장 결론 43
참고문헌 44
