유기 금속 화학 증착법을 이용해 성장된 WS₂의 광학적 성질 제어
Manipulating Optical Properties of WS₂ Grown by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
- 주제(키워드) WS₂ , Photoluminescence , Biexciton
- 주제(DDC) 621.042
- 발행기관 아주대학교
- 지도교수 이형우
- 발행년도 2022
- 학위수여년월 2022. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 에너지시스템학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000032223
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
전이 금속 디칼코게나이드(TMD) 물질은 최근까지도 단일층에서 나오는 고유의 광학적, 전기적 특성으로 많은 연구가 되어 있다. 상대적으로 쉽게 고품질의 시료를 제작할 수 있는 기계적 박리법이 많이 사용되지만, 대면적 단일층 박막생산에 한계점을 극복하기 위해 고안된 방법이 화학 기상 증착법(CVD, Chemical Vapor Deposition)이다. 화학 기상 증착법은 대면적으로 WS₂ 박막을 생산하는 유망한 방법 중 하나이다. 이를 이용해 많은 연구에서 단일층 WS₂ 도메인 모양에 따른 특성과 전구체 비율에 따른 광학적 특성이 연구되었다. 하지만 전구체의 비율과 광학적 특성 사이의 정확한 상관관계는 아직 밝혀지지 않았다. 이 연구에서는 금속 유기 화학 기상 증착법(MOCVD)의 장점을 이용해 WS₂ 성장 시 황화물 전구체의 양을 체계적으로 제어하여 성장 시키고 초분광 이미징 기술을 사용하여 광발광(Photo Luminscence), 흡수(Absorption) 스펙트럼을 측정하여 성장시킨 WS₂의 모양과 광학적 특성을 연구하였다. W : S 원자의 비율에 따라 모양과 광학적 특성이 어떻게 변하는지에 대해 포괄적으로 모델을 제시하고, 이를 통한 광학적 성질의 제어 방안을 제시한다.
more목차
제1장 1
제1절 서론 1
제2절 전이 금속 디칼코게나이드 1
제3절 단층 TMD 제작 3
제4절 광발광 10
제5절 스토크스 이동(Stokes Shift) 14
제2장 16
제1절 WS₂의 성장 및 전사 16
제2절 초분광 이미지 측정방법 18
제3절 파워 의존성 실험방법 20
제4절 초분광 이미지 분석방법 21
제3장 24
제1절 황화물 전구체량에 WS₂의 성장 24
제2절 초분광 이미징 측정 27
제3절 저온 광발광 분석 35
제4장 결론 42
참고문헌 43
