반도체 장비 간 재료전달을 위한 무선통신기기 성능개선
Performance Enhancement of Wireless Communication Devices for Material Transfer between Semiconductor Equipment
초록/요약
본 논문에서는 반도체 제조 공정의 재료전달 과정에서 생산 장비와 AMHS간의 SEMI E84 인터페이스(이하, E84 통신)를 위해 사용하는 무선 RF통신 장치를 모델링하고, 통신 장치의 운용 효율을 향상시키기 위한 방안으로 무선 ID와 채널을 자동 생성하는 방법과 passive 장치 관리를 자동화하는 방법, handoff working time을 줄일 수 있는 방법을 제안한다. 무선 ID와 채널은 handoff작업이 수행되는 node 번호와 공장 별 주파수 할당 계획에 의해 선정된 파라미터를 이용하여 자동 생성함으로써, active 통신 장치의 운용 방식을 개선할 수 있다. Passive 장치의 로그 수집 및 프로그램 업데이트를 E84 통신 과정 중 active 장치를 이용하여 수행할 수 있도록 RF통신을 구성함으로써, 제조 현장에서의 maintenance 작업에 의한 물류 반송의 영향을 줄일 수 있다. E84 통신에 무선 RF통신 장치를 사용하고, 통신 과정을AMHS의 동작을 고려한 3단계로 구분하여 제어하는 방법을 제안함으로써, handoff working time을 줄일 수 있다. 반도체 장비 간 재료전달 과정에서 사용되는 무선통신기기의 효율적인 운용 방안을 위해 제안한 무선 ID와 채널의 자동 생성 방법 및 passive 장치의 관리 자동화 방법, handoff working time 향상 방법의 타당성을 시뮬레이션과 실험으로 검증한다.
more초록/요약
This paper models wireless RF communication devices used for SEMI E84 interface between production equipment and AMHS in the material transfer process of semiconductor manufacturing process, and proposes how to automatically generate wireless ID and channel, how to automate passive device management, and how to reduce handoff working time. The wireless ID and channel are automatically generated using the node number on which the handoff is performed and the parameters selected by the frequency allocation plan for each factory, thereby improving the operation method of the active communication device. By configuring the RF communication so that log collection and program update of the passive device can be performed using the active device during the SEMI E84 interface, it is possible to reduce the impact of material transfer due to maintenance work at the manufacturing site. By using the wireless RF communication devices in the SEMI E84 interface and proposing a method of controlling the communication process by dividing it into three stages considering the operation of AMHS, handoff working time can be reduced. For the efficient operation of wireless communication devices used in the process of material transfer between semiconductor equipment, the validity of the proposed method of automatically generating wireless ID and channel, automated management of passive device, and improving handoff working time is verified through simulation and experiment.
more목차
제1장 서 론 1
제2장 관련 연구 3
제1절 SEMI E84 인터페이스 3
제2절 SEMI E84 인터페이스 광통신 기술 및 한계점 6
제3절 SEMI E84 인터페이스 RF통신 기술 8
제3장 무선 RF통신 장치 모델링 및 제안하는 성능 개선 12
제1절 무선 RF통신 장치 모델링 13
제2절 Active 통신 장치 운용 관리에 대한 성능 개선 방안 15
제3절 Passive 통신 장치 운용 관리에 대한 성능 개선 방안 18
제4절 무선 RF통신 장치의 운용 효율에 대한 성능 개선 방안 25
제4장 모의 실험 및 결과 분석 27
제1절 무선 ID와 채널 자동 생성에 대한 평가 27
제2절 Passive 장치 관리 자동화에 대한 평가 31
제3절 Handoff working time 개선에 대한 평가 34
제5장 결론 37
참고문헌 39
