시뮬레이션 기반 OHT 네트워크 평가 방법
OHT Network Evaluation Method via Simulation
- 주제(키워드) Evaluation Method , OHT Logistics , Intra bay , Inter bay
- 발행기관 아주대학교
- 지도교수 박상철
- 발행년도 2019
- 학위수여년월 2019. 2
- 학위명 박사
- 학과 및 전공 일반대학원 산업공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000028823
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
반도체 FAB 자동화 물류시스템은 생산시스템 내의 자동화 물류시스템 중 자동화 비율이 가장 높은 물류시스템 중에 하나이며, 최근 스마트 팩토리에 가까운 물류시스템이라 할 수 있다. 최근 들어 중국에 의한 반도체 산업에서 중국의 무서운 추격으로 인해, 우리나라의 반도체 경쟁력을 갖추기 위한 노력이 지속되고 있다. 반도체 산업에서 경쟁력을 갖추기 위해서는 새로운 기술을 이용하여 신제품을 개발하는 것도 중요하지만, 빠르게 양산체제로 전환하여 제품을 효율적이고, 납기를 맞추어 낮은 불량률의 제품을 생산하는 것이 더욱 중요하다. 반도체 FAB 공정 특성상 장비의 이동은 불가능하기 때문에 물류의 효율성을 높이는 연구에 집중되어 있다. 하지만 기존 연구에는 dispatching rule, AMHS, 시뮬레이션 및 모델링과 같은 분야에 연구가 집중되어 있으며 물류의 대부분을 담당하고 있는 OHT의 네트워크 평가에 대한 연구는 부족하다. 따라서 본 논문에서는 OHT의 네트워크인 Intra bay와 Inter bay의 패턴에 대해서 효율성을 평가할 수 있는 방법을 제안했다. Inter/Intra bay는 각 반도체 공정마다 서로 다른 규칙에 의거하여 패턴을 가지고 있으며, 설계자는 새로운 패턴을 도입할 때 기존에 사용하던 패턴을 그대로 사용하거나 노하우에 의해서 정형화된 평가 방법 없이 패턴을 도입한다. 본 논문에서는 패턴이 효율성을 평가할 수 있는 방법을 제안함으로써 패턴의 효율성에 대한 근거를 가질 수 있을 뿐만 아니라 전문가가 아니더라도 다양한 패턴을 실험 할 수 있는 기반을 제시하였다. 제안된 방법은 실제로 반도체 물류 연구 회사와 프로젝트를 진행하며 연구되었으며, 실제로 패턴을 평가하는데 기여를 했다.
more목차
Chapter 1 Introduction 2
Section 1 Background 2
Section 2 Semiconductor FAB Logistics System 4
Section 3 Research Scope 19
Chapter 2 Related Research 21
Section 1 Related Research on OHT Logistics in Semiconductor FAB 21
Chapter 3 OHT Network Evaluation Method 28
Section 1 Inter bay / Intra bay Design Method 29
Section 2 KPI selection for OHT Network Evaluation 30
Section 3 Method of Semiconductor FAB Layout Design and Traffic Data Generation 34
Section 4 OHT Network Evaluation Method 37
Chapter 4 Simulation 41
Section 1 Intra bay Evaluation Method and Result 42
Section 2 Inter bay Evaluation Method and Result 51
Chapter 5 Conclusion 65
Bibliography 66
Abstract 69
