반사형 타원법을 이용한 Polyimide 배향막의 러빙 효과 연구
Study of Rubbing Effect on the Polyimide Alignment Layer by Using Reflection Ellipsometry
초록/요약
배향막은 LCD 패널내 액정의 분자배열 상태나 액정의 반응속도 등을 통하여 LCD의 화질과 응답속도 등을 규정하므로 배향막을 형성하고 그 상태를 평가하는 기술은 LCD 산업체에서는 매우 중요하다. 러빙으로 만들어지는 배향막의 경우 그 광학이방성이 아주 작으므로 대개 이방성이 큰 액정이 주입된 상태에서 LCD 패널을 평가하는데 이에 따르는 공정상의 비효율성과 수율저감에 따른 부담이 상당히 크다. 극히 최근에 성능이 향상된 투과형 타원계가 개발되어 액정이 주입되지 않은 상태에서 배향막의 미세 광학이방성을 정밀하게 측정, 평가하는 방법이 제시되었으나 이 방법은 기층의 잔류이방성 효과를 보정을 주어야 하는 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 기층의 잔류이방성을 보정해 주어야 하는 투과형 타원계의 단점을 보완하기 위하여 반사형 타원계를 사용하는 배향막 평가 장치와 방법을 개발하고자 하였다. 시료 광학정렬의 정밀도 향상, 연속적인 시료회전과 동기화한 측정 속도의 개선, LED 광원의 안정화 등으로 반사형 타원계의 성능을 향상시켰고 광배향된 시료와 러빙 배향된 시료 각각에 대해 투과형 타원계와 개선된 반사형 타원계를 사용하여 미세 광학이방성을 측정하고 그 결과를 비교 분석하였다. 분석결과 광학이방성이 1.5 ㎚ ~ 2.5 ㎚ 정도로 큰 광배향 시료는 투과형 타원계와 반사형 타원계 모두 동등하게 정확한 평가가 가능함을 확인하였으나, 리타데이션이 0.1 ㎚ ~ 0.2 ㎚ 정도가 되는 러빙 배향된 시료는 투과형 타원계를 사용할 때는 정밀한 측정 분석이 이루어지지만 반사형 타원계를 사용할 때는 배향막의 형성 가능성만 확인할 수 있었다.
more목차
차례 (Table of Contents)
그림 차례
표 차례
제 1 장 서론
제 2 장 타원법의 기본 원리 및 광학이방성 표현
제 1 절 타원법을 이용한 편광상태 기술
제 2 절 타원상수의 정의
제 3 절 타원상수를 사용한 광학이방성 표현
제 3 장 타원법을 이용한 배향막의 광학이방성 측정 및 분석
제 1 절 시료제작
1. PI 코팅
2. 배향막 형성
제 2 절 타원계를 이용한 광학이방성 측정
1. 투과형 타원계를 사용한 측정
2. 반사형 타원계의 시료회전방식으로의 개선 및 측정
제 3 절 배향막의 광학이방성 측정결과 및 분석
1. 투과형 타원계를 사용한 측정결과 및 분석
2. 반사형 타원계를 사용한 측정결과 및 분석
제 4 장 결론 및 검토
제 1 절 결론
제 2 절 검토의견
참고 문헌 (Bibliography)
Abstract
