개선된 투과형 타원법을 사용한 LCD 배향막의 러빙효과 측정
- 주제(키워드) Ellipsometry , LCD alignment layer , 배향막 , 광학이방성
- 발행기관 아주대학교
- 지도교수 김상열
- 발행년도 2013
- 학위수여년월 2013. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 분자과학기술학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000014772
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
본 논문에서는 투과형 타원계를 사용하여 배향막의 러빙 유무를 측정 및 평가하기 위하여 기존에 사용되던 시료회전형 PCSA방식을 모듈 회전형 PCSA방식으로 변경한뒤 여러 개선을 통하여 측정정밀도를 대폭 향상 시키었으며, 투과형 타원계를 사용하여 측정 시 배향막의 이방성 정보에 기층의 이방성 정보까지 더하여져 나오는 문제를 해결하기 위하여 배향막의 기층부분인 유리가 가지고 있는 이방성을 측정하여 이를 전체 이방성에서 감해주었다. 그 결과 순수 러빙에 의한 배향막의 이방성만을 측정 하였으며 이를 통해 러빙이 잘 되었는지 유무를 파악 할 수 있었다.
more초록/요약
In this paper, we used transmission ellipsometry to measure the net retardation by rubbing. And the precision of retardation measurement has been improved upto 3sigma< 0.005 nm by some improvements such as module rotating methods instead of the sample rotation methods. but it has light overlapping problem because transmission methods analyzed not only net retardation of rubbed PI but substrates. so we introduced RVD(Retardation Vector Difference) method, which is excluded substrate retardation from after rubbing. trough this, we can analyzed net reatardation of only rubbing.
more목차
제 1 장 서론
제 2 장 타원법의 기본 원리
제 1 절 존스 벡터(Jones vector)
제 2 절 타원 상수 의 정의
제 3 절 광학이방성과 리타데이션
제 3 장 투과형 타원계의 개선
제 1 절 PCSA 투과형 타원계
제 2 절 모듈 회전형 방식의 PCSA 투과형 편광계 개선
1 편광자의 방위각 영점 보정
2 회전하는 두 모듈 간의 방위각 영점 동기화
3 광원의 교체 및 잡음 수준 저감
4 편광자모듈의 회전에 따르는 광경로 흔들림 보정
5 장비 개선 요약 및 결과
제 4 장 LCD 배향막 측정 및 분석
제 1 절 RVD 방법의 도입
제 2 절 열처리 공정 후 광학이방성 측정
제 3 절 PI 코팅 공정 후 광학이방성 측정
제 4 절 러빙 공정 후 광학이방성 측정
5 . 결론 및 검토
6. 참고 문헌 (Bibliography)
