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언더필 재료를 사용하는 Cu/Low-K 플립 칩 패키징 공정에서 신뢰성 향상 연구

Reliability Improvement of Cu/Low-K Flip chip Packaging Process using Underfill Materials

목차

국문 요약
그림 차례 (LIST OF FIGURE)
표 차례 (LIST OF TABLE)
제 1 장 서 론 1
제 2 장 이론적 배경 3
제 1 절 플립 칩 3
제 2 절 언더필 (UNDERFILL) 9
제 3 절 CU / LOW - K 와 언더필 15
제 3 장 실험 내역 및 신뢰성 결과 19
제 1 절 실험 내역 19
제 2 절 신뢰성 결과 29
제 4 장 결론 및 향후 전망 36
참고 문헌 37
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