진동 분석에 의한 볼-스크류 구동 스테이지 결함 진단 시스템에 관한 연구
A study on failure diagnosis system of a ball-screw-driven stage with vibration analysis
- 발행기관 아주대학교
- 발행년도 2012
- 학위수여년월 2012. 2
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 기계공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000012254
- 본문언어 한국어
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