아주대학교

목차

제 1 장 서 론 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 1
제 2 장 실 험 기 초 이 론
제 1 절 전계효과 트랜지스터 소자의 특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 2
제 2 절 음극선 발광법(Cathodoluminescence) ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 10
제 3 장 소 자 제 작 방 법
제 1 절 감광물질을 이용한 포토리소그래피 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 14
제 1 항 양성감광물질을 이용한 방법 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 14
제 2 항 음성감광물질을 이용한 방법 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 20
제 3 항 현상 속도가 다른 중합체층을 이용한 방법 ⟜ ⟜ ⟜ 24
제 2 절 전자빔리소그래피(E-beam lithography) ⟜ ⟜ ⟜ 30
제 4 장 실 험 결 과
제 1 절 ZnO 나노구조체 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 32
제 1 항 ZnO 나노구조체의 합성과 분산 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 32
제 2 항 ZnO 나노구조체의 광발광특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 36
제 2 절 ZnO 나노구조체 FET소자의 특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 38
제 1 항 ZnO 나노구조체 FET 소자의 광발광특성 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 38
제 2 항 ZnO 나노구조체 FET소자의 전기수송특성 ⟜ ⟜ ⟜ 44
제 3 절 서로 다른 전극물질이 증착된 ZnO 나노구조체 FET소자의 특성
⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 50
제 5 장 결 론 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 56
참 고 문 헌 ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ ⟜ 57