아주대학교

목차

본 문 차 례

국문요약 .............................................................................................. 1
그림차례 .............................................................................................. 4
표 차 례 .............................................................................................. 6

제 1 장 서 론 ....................................................................................... 7
1.1 절 레이저 미세가공 ....................................................................... 7
1.2 절 실험 목적 ............................................................................... 9

제 2 장 이 론 ..................................................................................... 10
2.1 절 레이저 미세가공 메카니즘 ....................................................... 10
2.2 절 전계 방출 이론 ....................................................................... 15

제 3 장 탄소나노튜브 필름의 성장법 및 레이저 미세가공 .......................... 19
3.1 절 탄소나노튜브 필름 성장 기법 .................................................. 19
3.1.1 열 화학 기상 증착법 ............................................................ 19
3.1.2 고온 필라멘트 화학 기상 증착법 ........................................... 22
3.2 절 탄소나노튜브 필름의 레이저 미세가공 ...................................... 24
3.2.1 저에너지 펨토초 레이저 미세가공 시스템 .............................. 24
3.2.2 주기적인 구멍 가공 특성 ....................................................... 28
3.2.3 1차원 및 2차원 선형 패턴 .................................................... 36

제 4 장 탄소나노튜브 기반의 Field emitter array ................................... 39
4.1 절 탄소나노튜브 기반의 Field emitter array 제작 ........................... 39
4.2 절 Field emission 측정 및 분석 .................................................. 43

제 5 장 결 론 ..................................................................................... 47

참고문헌 ......................................,................................................... 49

영문요약 ......................................................................................... 51