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전자 조사 후 수소 분위기 어닐링한 실리콘의 광학적 특성 변화

Optical property change in silicon after electron irradiation and hydrogen annealing

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 조중열
  • 발행년도 2002
  • 학위수여년월 2002. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 전자공학과
  • 본문언어 한국어
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