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2차원 및 3차원의 주기적인 구조 제작을 위한 2차원 이진 위상 마스크의 설계와 분석

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 원영희 , 조두진
  • 발행년도 2001
  • 학위수여년월 2001. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 분자과학기술학과
  • 본문언어 한국어