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2차원 및 3차원의 주기적인 구조 제작을 위한 2차원 이진 위상 마스크의 설계와 분석
김남식
(일반대학원)
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발행기관
아주대학교
지도교수
원영희 , 조두진
발행년도
2001
학위수여년월
2001. 2
학위명
석사
학과 및 전공
일반대학원 분자과학기술학과
본문언어
한국어
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