In-situ Ellipsometry를 사용한 광기록 매체용 Ge-Sb-Te 박막의 최적성장조건 연구
Study of Optimun Growth Condition of Phase Change Ge-Sb-Te Thin Films as an Optical Recording Medium using in-situ Ellipsometry
- 발행기관 아주대학교
- 지도교수 김상열
- 발행년도 2002
- 학위수여년월 2002. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 분자과학기술학과
- 본문언어 한국어
