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수소 화합물 기상 적층법에 의한 GaN 박막 성장 및 특성 연구

Growth and characterization of GaN thin film by hydride vapor phase epitaxy

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 유승현
  • 발행년도 2003
  • 학위수여년월 2003. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 산업대학원 기계공학과
  • 본문언어 한국어
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