검색 상세

반도체 GOX 공정에서의 지분 관리도 적용 연구 : Batch Process 관리를 중심으로

Nested control chart for gate oxidation process of semiconductor

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 장중순
  • 발행년도 2003
  • 학위수여년월 2003. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 산업대학원 산업공학과
  • 본문언어 한국어
반출 Meta View 목록