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GaN 박막 성장에서 광 간섭계를 이용한 실시간 두께측정

In-situ Thickness Monitoring for GaN Epitaxial Growth using Optical Interferometry

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 이해영
  • 발행년도 2001
  • 학위수여년월 2001. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 산업대학원 정보전자공학과
  • 본문언어 한국어
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