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수열합성과 New-Gel법을 이용한 Ti/SiO2/Si 기판 위에 PZT 박막제조

Preparation of PZT Thin Films on the Ti/SiO₂/Si Substrate by Hydrothrmal and New Sol-Gel Methods

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 서경원
  • 발행년도 2001
  • 학위수여년월 2001. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 화학공학과
  • 본문언어 영어

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