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유기금속화합물 단일전구체를 이용한 Aluminum Nitride 박막증착

Aluminum Nitride Thin Films by single-source precursor MOCVD

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 최승철
  • 발행년도 2000
  • 학위수여년월 2000. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 재료공학과
  • 본문언어 한국어

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