검색 상세

PECVD 법에 의한 DLC 박막 중착시 생성되는 플라즈마의 OES 분석

The optical emission spectroscopy of plasma in DLC films deposited by PECVD

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 진억용
  • 발행년도 2000
  • 학위수여년월 2000. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 재료공학과
  • 본문언어 한국어

목차

text

more
반출 Meta View 목록