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반응성 DC, RF 마크네트론 co-sputtering법으로 제조된 (CexZr₁-x)O₂완충층의 특성에 관한 연구

Characterization of (CexZr₁-x)O₂Buffer layers deposited by reactive DC, RF magnetron co-sputtering

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 고경현
  • 발행년도 2003
  • 학위수여년월 2003. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 재료공학과
  • 본문언어 한국어

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