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고밀도 플라즈마 발생장치 2차원 모델링

Two-dimensional modeling of high density plasma source

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 신치범
  • 발행년도 2000
  • 학위수여년월 2000. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 화학공학과
  • 본문언어 한국어

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