반도체 FAB 다중 해상도 모델링 및 시뮬레이션
Multi Resolution Modeling and Simulation of Semioconductor FAB
- 주제(키워드) 시뮬레이션
- 주제(DDC) 658.5
- 발행기관 아주대학교
- 지도교수 박상철
- 발행년도 2023
- 학위수여년월 2023. 2
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 산업공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/ajou/000000032457
- 본문언어 한국어
- 저작권 아주대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
초록/요약
본 논문에서는 반도체 FAB 다중 해상도 모델링을 하고 각 모델별 시뮬레이션을 통해, 해상도가 시뮬레이션의 결과 및 속도에 미치는 영향을 검증한다. 다중 해상도 모델링이란 하나의 대상 시스템을 목적에 따라 여러 해상도를 가진 모델로 기술하는 것을 의미하며 규모가 크고 복잡한 시뮬레이션에 사용되던 기법이다 모델링 및 시뮬레이션 분야에서 해상도는 타겟 시스템을 어느 정도의 상세함과 정확성을 가지고 기술했는지를 정의하는 척도이다. 목적에 따라 적절한 해상도를 설정하여 시뮬레이션을 진행하는 것은 중요하다. 반도체 FAB 물류 시스템을 시뮬레이션 모델에 고 해상도로 반영할 시, 차량 간의 복잡한 상호작용과 여러 의사결정 로직으로 인해 계산량이 많아져 시뮬레이션의 속도를 저하시킨다. 따라서 본 연구에서는 FAB의 물류시스템을 7가지 해상도로 모델링하고, 최고해상도인 모델과 그 외 서브 모델들의 시뮬레이션 결과와 속도에 대해 비교한다. 최고해상도 모델은 실제 FAB의 물류시스템을 정합성 높게 반영한 모델이며 서브 모델은 최고해상도 모델의 시뮬레이션 로그를 기반으로 물류 반송시간을 계산하는 상속 모델과, 반송 출발지와 목적지 사이의 맨허튼 거리와 차량 속도를 기반으로 반송시간을 계산하는 거리모델로 구성하였다. 각 모델들을 검증하기 위해 SMT 2020, SMAT 2022 데이터 셋을 이용하에 FAB 시뮬레이션 환경을 구현하였고, 해당 시뮬레이터를 통해 각 모델들의 KPI와 시뮬레이션 속도를 도출하였다. 이를 통해 해상도가 시뮬레이션의 결과와 속도에 미치는 영향에 대해 검증할 수 있었다.
more초록/요약
This paper presents a multi-resolution modeling and simulation of semiconductor FAB and evaluates the effect of resolution on the results and performance of the simulation. Multi-resolution modeling describes a single target system as a model with multiple resolutions depending on its purpose and is used to perform large and complex simulations. In modeling and simulation, resolution means how detailed and accurate the target system is described. It is important to perform a simulation with appropriate resolution according to the objective. When the semiconductor FAB material handling system is reflected in the simulation model, the simulator speeds down due to its complex interaction between vehicles and various decision-making logic. In this study, we modeled the FAB material handling system at seven resolutions and compared simulation results and speed between the highest resolution and sub-models. The highest resolution model reflects FAB’s material handling system in high fidelity. In comparison, sub-models consist of Inherit-Models, which calculate transport time by the highest resolution model’s simulation transport logs, and Distance-Models which calculate transport time by Manhattan distance between departure and destination and vehicle speed. We implemented the FAB simulation environment using SMAT 2022 dataset for validation of each model and derived simulation KPI using this simulator.
more목차
제 1장 서론 1
제 1절 반도체 FAB 1
제 2절 다중 해상도 모델링 6
제 3절 문제 정의 11
제 2장 반도체 FAB 모델 12
제 1절 공정 모델 12
제 2절 물류 모델 19
제 3장 다중 해상도 모델링 23
제 1절 OHT 네트워크 모델 24
제 2절 서브 모델 26
제 4장 실험 30
제 1절 구현 30
제 2절 시뮬레이션 결과 31
제 5장 결론 34
참고문헌 35
