목차

제 1장 서론 1
제 2장 이론 3
2.1 플라즈마의 정의 및 발생 3
2.1.1 매칭 네트워크(matchng network) 7
2.1.2 페닝 이온화(Penning ionization) 9
2.2광학적 방출 분광 방법 (OES) 9
2.2.1 회전 스펙트럼 및 회전 온도 11
2.2.1.1 회전 에너지 준위 11
2.2.1.2 회전 온도의 계산 13
2.2.2 진동에너지 준위 및 진동 온도 15
2.2.2.1 진동 에너지 준위 15
2.2.2.2 진동 스펙트럼의 계산 17
제 3장 질소 플라즈마의 가스 온도 계산 및 측정 19
3.1 실험 개요 19
3.2 실험 장치 및 방법 20
3.3 실험결과 22
3.3.1 질소 흐름방전의 N2[b,v'] 측정 및 계산 22
3.3.2 NO titration 36
3.3.2.1 초기잔광과 후기잔광의 질소원자 밀도 36
3.3.3 거리에 따른 회전온도의 측정 및 계산 38
3.3.4 전극 효과에 의한 플라즈마 잔광의 변화 42
3.3.4.1 산소 비율에 따른 진동온도의 측정 및 계산 42
3.3.4.2 조기잔광에서의 산소 비율에 따른 N^+와 N2의 변화 44
3.3.4.3 후기잔광에서의 산소 비율에 따른 N2와 NO(beta) 의 변화 50
제 4장 결론 55
참고문헌 57
영문요약 59