목차

제 I 장 서 론 1
1.1절 연구 배경 및 목적 1
1.2절 연구 내용 및 절차 3

제 II 장 문헌 고찰 5
2.1절 품질 및 품질경영의 정의 5
2.2절 총체적 품질경영의 구성요소 고찰 9
2.3절 품질경영의 평가 모형 고찰 17
2.4절 반도체 산업의 특징 23
2.5절 반도체 기업의 품질경영 평가의 특징 26
2.5.1 반도체 기업의 품질경영의 평가 항목 27
2.5.2 국가 품질상과 반도체 기업의 품질경영 평가항목 비교 31
2.6절 품질경영시스템의 성숙도 모형 고찰 33
2.7절 반도체 제조공정의 SPC 문헌 고찰 41
2.7.1 반도체 제조공정의 SPC시스템 문헌 41
2.7.2 반도체 제조공정의 SPC 관리도 문헌 43
2.8절 선행연구의 한계 및 문제제기 48

제 III 장 반도체 품질경영의 핵심구성요소 선정 52
3.1절 구성요소 선정의 접근방법 52
3.2절 품질경영시스템의 구성요소 선정 55
3.3절 반도체 품질경영의 핵심 및 주요 구성요소 선정 62
3.3.1 선정 개요 62
3.3.2 핵심 구성요소의 선정 63
3.3.3 주요 구성요소의 선정 69
3.3.4 반도체 품질경영의 평가모형 개발 78

제 IV 장 성숙도 평가모형의 개발 81
4.1절 성숙도 평가 모형의 설계 81
4.1.1 성숙도 평가모형 설계의 접근방법 81
4.1.2 성숙도 평가 모형의 요건 82
4.1.3 평가 항목의 개발 83
4.1.4 평가 항목별 배점 및 평가 기준 86
4.2절 품질경영 활동 단계별 성숙도 수준 91
4.3절 사례 연구 92
4.3.1 조사방법 및 분석방법 92
4.3.2 측정결과 분석 및 검토 94

제 V 장 반도체 제조공정의 SPC 관리도 설계 100
5.1절 반도체 제조공정의 SPC 시스템 101
5.1.1 반도체 제조공정의 SPC 시스템 체계 101
5.1.2 인터락(interlock) 시스템 104
5.1.3 파티클 관리도 106
5.2절 GOX(Gate Oxidation)공정의 적합 관리도 설계 110
5.2.1 GOX공정의 특징 110
5.2.2 GOX공정의 관리도 설계 112
5.3절 결론 129

제 VI 장 결 론 131
6.1절 연구 결과 131
6.2절 기대 효과 132
6.3절 연구의 한계 및 향후 과제 133

참 고 문 헌 134

Abstract 142

부 록 146