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RF를 이용한 대기압 상온 플라즈마 토치 개발

Low Temperature RF Plasma Torch at Atomospheric Pressure

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 엄환섭
  • 발행년도 2001
  • 학위수여년월 2001. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 분자과학기술학과
  • 본문언어 한국어
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