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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 Bi계 pyrochlore 박막의 tunability에 관한 연구

Studies on the tunability of Bi-based phrochlore thin films prepared by rf magnetron sputtering

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 고경현
  • 발행년도 2003
  • 학위수여년월 2003. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 재료공학과
  • 본문언어 한국어