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2파장 타원계의 개발 및 박막 두께 정밀 측정

Development of Dual Wavelength Ellipsometer and Accurate Determination of Thin Film Thickness

  • 발행기관 아주대학교
  • 지도교수 김상열
  • 발행년도 2004
  • 학위수여년월 2004. 2
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 일반대학원 분자과학기술학과
  • 본문언어 한국어

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